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20250602電子情報技術部会次世代エレクトロニクス分科会講演会

講演会テーマ：「革新的EUVリソグラフィー技術」

プログラム（講演時間は質疑応答を含みます）
15:00~16:00　新竹　積　様　ご講演

連絡事項
・講演会開場時間は下記となります。
JACI会議室聴講：14:40
オンライン聴講：14:50
・JACI会議室の定員は30名です。
・感冒症状がある方、発熱されている方は会議室への参加をご遠慮ください。
・やむを得ず個別イベントの開催を中止あるいは変更する場合は、
お申し込み者に別途個別にご連絡いたします。

※申込締切　5月27日(月)　12:00
新規ユーザーは申込締切2営業日前までにユーザー登録申請をお願いします。

先生のご都合で講演会後の懇親会はございません。

 

 

• 講師：新竹　積（沖縄科学技術大学院大学　量子波光学　顕微鏡ユニット 教授）
• 演題：革新的EUVリソグラフィーが先端半導体に価格破壊をもたらす可能性
• 時間：15:00　～　16:00
• 要旨：日本が半導体リソグラフィー装置の覇権を失って２０年以上の歳月が過ぎた。
  現在、先端半導体向けEUVリソグラフィー装置はオランダASML社が１００％のシェアを支配し独占状態となっている。独自開発のため投資をしてもEUV装置のコストが高く費用を回収できない状況だからである。
  昨年４月、筆者は２年間の理論的研究により新規技術を特許申請し８月に公表した。
  消費電力が１０分の１となる革新的EUVリソグラフィー、価格も半額以下となる。